真空氣氛爐廣泛應用于難熔金屬材料的燒結，金屬釬焊及電工材料退火，工具鋼、模具鋼、結構鋼、不銹鋼等的熱處理和金屬鍍膜。真空熱處理后的工件，表面不氧化脫碳、變形小、力學性能好。
爐型分類
1.罐式真空氣氛爐
真空罐置于爐膛內，進料口及真空系統接口置于爐外，進料口帶有密封爐蓋。工件裝入罐內，當罐內抽成真空后再對工件進行加熱，此爐型適于小批量工件熱處理用。
2.室式真空氣氛爐
室式真空氣氛爐由電熱元件、隔熱屏、進出料機構、密封隔熱閥、爐門、水冷爐殼、真空系統、溫控系統等組成，有單室、雙室和多室之分。
3.立式真空氣氛爐
基本結構由圓筒形爐膛、電熱元件、隔熱屏、真空隔熱密封爐門、真空系統及溫控系統等組成。根據不同工藝需要增設各種附屬裝置后，則構成立式真空油淬爐，氣淬爐和立式真空聯合電爐等。
4.高壓氣淬真空氣氛爐
在室式真空爐的基礎上，增加雙向密封爐門、高壓風機、氣體噴流裝置、熱交換器，使高壓惰性氣體在爐內高速循環，實現對己加熱的高速鋼、模具鋼、馬氏體不銹鋼等類工件氣淬，也可對金屬構件進行燒結、釬焊，對欽合金工件進行真空熱處理等。
高壓氣淬真空爐結構緊湊，生產效率高，是一種新型的真空爐。
5.連續式真空氣氛爐
工件連續或斷續入爐，加熱室內始終有工件在加熱，爐子生產率高。
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